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              激光銷蝕

              時間:2021-03-29   訪問量:3737

              背鈍化工藝可以減少載流少子在晶圓背面的復合,從而提高了晶圓的能量轉換效率。激光銷蝕可應用于高效晶硅PERC電池背面開槽。工藝要點是選擇合適的激光以及激光加工窗口對鈍化層進行開槽。激光把一層很薄的鈍化層銷蝕掉,產生約30-40um寬的銷蝕線槽。電池的背電極由鋁銀漿通過這些銷蝕線槽與硅基材燒結而成,形成良好的電接觸。

              工藝特征

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